Posifa博思发 PVC6800系列 MEMS皮拉尼 复合真空计 (0.1Pa - 130kPa)

核心摘要

面向锂电池真空烘箱 及 医药冷冻干燥机等领域的工艺监控方案。PVC6800 系列采用 “MEMS 皮拉尼 + 压力” 复合传感架构，解决了传统真空规在大气压至粗真空段测量不准的难题。针对工业现场复杂的电磁环境，提供增强型抗干扰设计，在溶剂挥发与高频电气噪声环境下保持长期稳定的真空度监测。


产品概述

Posifa PVC6800系列是一款高性能的 MEMS 复合真空变送器，测量范围覆盖 0.1 Pa 至 130,000 Pa (1.3个大气压)。该产品基于博思发第二代 MEMS 热导芯片，不仅在低真空段表现优异，更创新性地集成了一颗压阻式压力传感器，确保了在 1.3大气压 到 0.1大气压 这一高压力段的高精度测量（误差<5%），解决了传统皮拉尼规在大气压附近测量不准的痛点。


PVC6800 系列最大的优势在于其“万能替代”特性。通过标准的 FCC-68/RJ45 接口，能够输出与 Inficon PCG550、Leybold TTR91、Edwards APG100 以及 MKS 925 等主流竞品完全一致的模拟电压曲线。客户在替换时无需修改 PLC 程序，也不必更换线缆，真正实现了低成本、无缝隙的国产化升级。得益于 MEMS 芯片的低温工作特性，它比传统灯丝型皮拉尼规更耐受油污污染，寿命更长。


核心特性与优势

    • 全量程高精度：融合皮拉尼与压阻技术，实现从超低真空 (0.1 Pa) 到正压 (130 kPa) 的无盲区精准测量。

    • 万能兼容替代：内置多种输出曲线模式，可直接替换 Inficon, Leybold, Edwards, MKS 等品牌的真空计，实现即插即用。

    • MEMS抗污染：芯片工作温度远低于传统热灯丝，极大降低了油气碳化导致的传感器漂移，耐脏耐用。

    • 增强型抗干扰设计 (EMC)：针对锂电隧道炉及方形烘箱中密集的加热控制柜与变频器干扰，优化了模拟前端电路与屏蔽接地。在复杂的工业电气噪声环境下，输出信号依然平滑稳定，防止因误触发导致的工艺中断。

    • 高性价比：相比传统品牌的皮拉尼规，提供更具竞争力的成本优势，是设备国产化的理想选择。

关键参数


测量范围0.1-130,000 Pa/0.001-1,300 mbar/1-975,000 mTorr分辨率1% of reading
精度±50% of reading (0.8-2 Pa)；±15% of reading (2-10,000 Pa)；±5% of reading (10,000-130,000 Pa) @ 25°C防护等级±2% of reading
响应时间320 ms输出电压2.3-10.15 V 或 2.5-8.61 V
供电电压12-30 VDC工作电流38 mA @ 24 VDC
工作温度5-50°C过载压力27.5 bar
接口DN16 ISO-KF + RJ45过载压力探头IP68，电子单元IP40


典型应用

    • 锂电池烘箱真空控制与回充监测

    • 真空烘箱压力监测

    • 真空泵系统性能监测

    • 氦质谱仪、氦检漏仪前级真空

    • 真空贴合机工艺控制

    • 真空实验设备

    • 采样室真空系统