核心摘要
产品概述
Posifa PMF2000系列是一款高性能MEMS空气质量流量传感器，专为测量200 sccm 至 10 SLM (10000 sccm) 范围内的气体流量而设计。该传感器基于博思发自主研发的第三代热式流量芯片，利用创新的微加工固态热隔离技术，彻底消除了传统传感器中脆弱的表面空腔结构，从而极大增强了传感器在剧烈振动或压力冲击下的坚固性。
凭借其坚固的封装和无移动部件设计，PMF2000系列在长期稳定性、线性度和重复性方面表现优异。支持线性模拟电压和I2C数字输出选项，非常适合医疗设备及工业过程控制中的气体流量监测应用。
核心特性与优势
第三代固态MEMS技术：创新的无表面空腔芯片设计，显著提升了抗震动与抗压力冲击能力，确保持久耐用。
快递响应：典型响应时间 5 ms，满足高速闭环控制系统的严苛要求。
灵活输出接口：提供经温度补偿的 1-5V 线性模拟输出 以及 I2C 数字输出，便于系统集成。
中小量程覆盖：量程覆盖 200 sccm 至 10 SLM，满足医疗与精密工业的流量检测需求。
高精度与重复性：最大误差 4% F.S，典型重复性 1% F.S，确保测量数据的准确与一致。
关键参数
| 流量量程 | 200 sccm～10 SLM |
| 输出信号 | 1 - 5 VDC (线性模拟) / I2C (数字信号) |
| 测量精度 | 1% F.S. (0~25% F.S. ±4% 读数 (25~100% F.S.) |
| 响应时间 | 5 ms (典型值) |
| 工作温度 | 0 ～ 50 ℃，内置温度补偿 |
| 工作压力 | 25 psi |
典型应用
医疗设备：一氧化氮治疗仪、呼吸机、CPAP睡眠呼吸机。
工业与环境：燃烧器控制、燃料电池控制、光谱分析仪、环境颗粒物监测、过滤器堵塞监测。